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碳化硅密封環(huán)制造工藝

碳化硅密封件圖片

碳化硅是共價性很強的非氧化物材料,Si-C間鍵的離子性僅為14%。Si-C鍵的高穩(wěn)定度一方面賦于SiC高的熔點和硬度以及化學惰性,另一方面致使燒結時的擴散率相當低。只有在添加劑的參與下,控制原料的純度和細度,通過加壓或在特定的氣氛下才能使它燒結。碳化硅密封環(huán)制造工藝主要為:原料處理-混料-成型-燒結-磨削與研磨-組裝。

原料處理工藝:不同球磨時間和料球比的的SiC原料的比表面測定。
成型工藝:采用干壓成型和等靜壓成型工藝,前者適宜形狀簡單,批量較大的制品,后者對單件少量、復雜形狀的制品較為適宜,且等靜壓碳化硅密封環(huán)的密度與性能均較干壓的制品為高為優(yōu)。
熱壓工藝:將加壓和燒結過程合在一起的工藝稱熱壓。
無壓燒結工藝:將成型后的碳化硅素坯在爐內進行保護氣體下高溫燒結稱為無壓燒結。
磨削與研磨:碳化硅是一種硬而脆的陶瓷材料,為防止產品崩邊掉角,必需作銳角倒鈍處理。只有選擇合適的磨料及粒度、嚴格控制磨削速率和必要的工裝條件,才能達到密封端面的表面粗糙度要求。
組裝工藝:碳化硅密封環(huán)除了有整體結構外,還大量采用熱套鑲裝結構,與碳化硅密封環(huán)鑲裝的環(huán)座材料以欽合金居多。

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